半導体グレード 99.9995% 高純度石英 エッチング用フランジ/リング (PQ871E/PQ811E)

基本情報

モデル番号。	PQ871E/PQ811E
のために使用します	石英フランジ
輸送パッケージ	木箱、カートンボックス
仕様	顧客化された
商標	PQ
起源	中国
生産能力	100/日

梱包と配送

梱包サイズ 100.00cm * 100.00cm * 74.00cm 梱包総重量 50.000kg

製品説明

応用
半導体グレードの石英シリンダーを使用
半導体エッチングにおける石英リングの母材
プロセス。

特徴
半導体グレードの石英シリンダーは、高純度、マイクロバブルフリー、低水酸基などの特長を備えています。

外径範囲	ID 範囲
300-350	210-240
350-400	240-300
400-450	330-350

物理化学的性質
i.微量元素 単位：ppm

コード	基準	アル	Ca	Cr	銅	鉄	K	李	マグネシウム	ん	すでに	の	ジル
PQ100E	典型的な	13	0.5	<0.05	<0.05	0.1	0.1	0.3	0.05	0.05	0.1	1.3	1
	最大	19	1	0.1	0.1	0.5	1	1	0.2	0.2	1	2	2
PQ100EH	典型的な	8	0.6	<0.05	<0.01	0.1	0.1	0.2	0.05	0.05	0.1	1.3	1
	最大	10	1	0.1	<0.01	0.5	0.5	0.5	0.2	0.2	0.5	2	2

ii. OH含有量

PQ100E/PQ100EH

OH<110ppm

iii. 物理的特性

アイテム	索引
密度(g/cm3)	2.2
熱伝導率(w/m・k、1000℃)	2.28
熱膨張係数(℃～1,1000℃)	5.5×10-7
軟化点(℃)	1670年
焼鈍点(℃)	1210